Sensores
G-TRAN Série
CCMT-D
Através da deformação de uma membrana de cerâmica (alumina), provocada pela variação da pressão do gás, a variação da capacitância elétrica estática é detectada e resulta em uma excelente estabilidade do sinal, a longo prazo.
Permite, assim, medições extremamente precisas.
Foto: Reprodução/ULVAC, Inc.
Características
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Compacto e resistente a corrosão;
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Excelente estabilidade de sinal, a longo prazo;
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Medição de pressão total, independente do tipo de gás;
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Menor tempo de aquecimento;
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Compensação de temperatura;
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Fonte de alimentação de tensão 14 a 30 VCC;
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Tensão de saída precisa 0 - 10V.
Aplicações
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Sistema de deposição de filmes finos;
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Fornos de redução de pressão;
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Fusão a vácuo ou tratamento térmico a vácuo;
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Troca de gás ou vedação de gás;
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PV, equipamento de fabricação FPD.
